Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Makabe, Toshiaki
Další autoři: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: New York CRC Press 2015
Vydání:2nd ed.
Témata:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Popis
Fyzický popis:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Podobné jednotky