Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Makabe, Toshiaki
Altres autors: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: New York CRC Press 2015
Edició:2nd ed.
Matèries:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
Descripció
Descripció física:xxxv, 376p.
ISBN:9781482222050

Ítems similars