Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Makabe, Toshiaki
অন্যান্য লেখক: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
বিন্যাস: Printed Book
ভাষা:English
প্রকাশিত: New York CRC Press 2015
সংস্করন:2nd ed.
বিষয়গুলি:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
বিবরন
দৈহিক বর্ননা:xxxv, 376p.
আইসবিএন:9781482222050

অনুরূপ উপাদানগুলি