Plasma electronics applications in microelectronic device fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Makabe, Toshiaki
مؤلفون آخرون: Petrovic, Zoran Lj; ed. by
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: New York CRC Press 2015
الطبعة:2nd ed.
الموضوعات:
Plasma engineering
Low temperature plasma
Plasma processing
الوصف
وصف مادي:xxxv, 376p.
ردمك:9781482222050

مواد مشابهة