Studies on laser induced and RF sputtered plasma using optical emission spectroscopy and langmuir probe

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Joshy, N V
Další autoři: Jayaraj, M K; guided by
Médium: Ph.D Thesis
Jazyk:English
Vydáno: Kochi Department of Physics; CUSAT 2008
Témata:
Plasma physics
Radio frequency sputtering system
Popis
Fyzický popis:ix, 212p.

Podobné jednotky