Lithography main techniques

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Aiheet:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Kuvaus
Ulkoasu:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Samankaltaisia teoksia