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Laser microfabrication: thin film process and lithography
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Boston
Academic Press
1989
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| Assuntos: |
| Descrição do item: | |
|---|---|
| Descrição Física: | xii, 587p. |