Handbook of silicon wafer cleaning technology

書誌詳細
第一著者: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
その他の著者: Kern, Werner
フォーマット: Printed Book
言語:English
出版事項: Norwich William Andrew 2008
版:2nd
主題:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
その他の書誌記述
記述事項:
物理的記述:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

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