MEMS and microsystems: design and manufacture

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hsu, Tai-Ran
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New Delhi Tata McGraw- Hill 2005
Schlagworte:
Microelectronics > Electronics > Semiconductors > Microelectromechanical systems > MEMS > Microelectronic packaging
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Mems and microsystems design and manufacture /
von Hsu, Tai-ran
Veröffentlicht 2002
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