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MEMS and microsystems: design and manufacture

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Hsu, Tai-Ran
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: New Delhi Tata McGraw- Hill 2005
Assuntos:
Descrição
Descrição do item:
Descrição Física:xii,436p.
ISBN:0-07-048709-x