Hitchon, W. N. G. (1999). Plasma processes for semiconductor fabrication. Cambridge University Press.
Trích dẫn kiểu ChicagoHitchon, W. Nicholas G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. Cambridge: Cambridge University Press, 1999.
Trích dẫn MLAHitchon, W. Nicholas G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. Cambridge University Press, 1999.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.