Hitchon, W. N. G. (1999). Plasma processes for semiconductor fabrication. Cambridge University Press.
Chicago-stil citatHitchon, W. Nicholas G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. Cambridge: Cambridge University Press, 1999.
MLA-referensHitchon, W. Nicholas G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. Cambridge University Press, 1999.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.