Hitchon, W. N. G. (1999). Plasma processes for semiconductor fabrication. Cambridge University Press.
استشهاد بنمط شيكاغوHitchon, W. Nicholas G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. Cambridge: Cambridge University Press, 1999.
MLA استشهادHitchon, W. Nicholas G. Plasma Processes for Semiconductor Fabrication. Cambridge University Press, 1999.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.