Micro - nano fabrication: technologies and applications

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Dettagli Bibliografici
Autore principale: Cui, Zheng
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Beijing Higher education press 2005
Soggetti:
Optical lithography > Electron beam lithography > Ion beam lithography > Fabrication technologies

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Collocazione: 621.71.9 CUI
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