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Plasma electronics. ed.2 :applications in microelectronic device fabrication
| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Printed Book |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
London
CRC
2015
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| Edizione: | Second edition. |
| Soggetti: |
PHY
| Collocazione: |
621.044 MAK |
|---|---|
| Copia | Status in tempo reale non disponibile |