Plasma electronics. ed.2 :applications in microelectronic device fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Makabe, T.
مؤلفون آخرون: Petrović, Z.
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: London CRC 2015
الطبعة:Second edition.
الموضوعات:
Plasma engineering

PHY

تفاصيل المقتنيات من PHY
رقم الطلب: 621.044 MAK
النسخة الحالة المباشرة غير متاحة

مواد مشابهة