Non-destructive evaluation of ion implanted semiconductor thin films using photothermal deflection spectroscopy

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Paulraj, M.
Weitere Verfasser: Vijayakumar, K. P (Guide)
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Cochin: Cochin University of Science and Techonology, 2004.
Schlagworte:
Thin film

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