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Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Printed Book |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
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| Colección: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Materias: |
PHY
| Número de Clasificación: |
537.5 SAN |
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| Copia | Estatus de actividad no disponible |