Principles and applications of NanoMEMS physics /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Santos, Hector J. de los
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New Delhi: Springer, c2005.
Schriftenreihe:Microsystems (Series) ; v. 15.
Schlagworte:
Quantum electronics > Wave-particle duality > Nanotechnology > Microelectromechanical systems

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Signatur: 537.5 SAN
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