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Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Printed Book |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Colección: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Materias: |
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por Santos, Héctor J. de los
Publicado 2005
Enlace del recursoPublicado 2005
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por Santos, Héctor J. de los
Publicado 2005
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