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Principles and applications of NanoMEMS physics /

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक:	Santos, Hector J. de los
स्वरूप:	Printed Book
भाषा:	English
प्रकाशित:	New Delhi: Springer, c2005.
श्रृंखला:	Microsystems (Series) ; v. 15.
विषय:	Quantum electronics > Wave-particle duality > Nanotechnology > Microelectromechanical systems

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