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Principles and applications of NanoMEMS physics /
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Schriftenreihe: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Schlagworte: |