Đang tải...
Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Printed Book |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Loạt: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Những chủ đề: |
| Mô tả vật lý: | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| số ISBN: | 1402032382 |