Laddar...
Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Printed Book |
| Språk: | English |
| Publicerad: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Serie: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Ämnen: |
| Fysisk beskrivning: | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 1402032382 |