Загрузка...
Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Printed Book |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Серии: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Предметы: |
| Объем: | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 1402032382 |