Wordt geladen...
Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Printed Book |
| Taal: | English |
| Gepubliceerd in: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Reeks: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Onderwerpen: |
| Fysieke beschrijving: | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 1402032382 |