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Principles and applications of NanoMEMS physics /
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
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| Schriftenreihe: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Schlagworte: |
| Beschreibung: | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 1402032382 |