Carregant...
Principles and applications of NanoMEMS physics /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
New Delhi:
Springer,
c2005.
|
| Col·lecció: | Microsystems (Series) ;
v. 15. |
| Matèries: |
| Descripció física: | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 1402032382 |