Santos, H. J. d. l. (2005). Principles and applications of NanoMEMS physics. Springer.
Chicago Stili AlıntıSantos, Hector J. de los. Principles and Applications of NanoMEMS Physics. New Delhi: Springer, 2005.
MLA AlıntıSantos, Hector J. de los. Principles and Applications of NanoMEMS Physics. Springer, 2005.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..