Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stuart, R. V.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York : Academic Press, 1983.
Schlagworte:
Vacuum technology. > Thin films. > Cathode sputtering (Plating process)

PHY

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Signatur: 621.5/5 STU
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