Silicon nitride for microelectronic applications, 6v.; v3. & v6. silicon nitiride for microelectronic applications, pt. 1. Preparation and properties., pt. 2. Applications and devices.

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Milek, John T.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York, IFI/Plenum, 1971-72.
Schriftenreihe:Handbook of electronic materials ; v. 3, etc.
Schlagworte:
Microelectronics--Materials. > Silicon nitride

PHY

Bestandesangaben von PHY
Signatur: 621.381/7 MIL.3
621.381/7 MIL.6
Exemplar Live-Status nicht verfügbar
Exemplar Live-Status nicht verfügbar

Ähnliche Einträge