Silicon nitride for microelectronic applications, 6v.; v3. & v6. silicon nitiride for microelectronic applications, pt. 1. Preparation and properties., pt. 2. Applications and devices.

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Milek, John T.
Format: Printed Book
Sprog:English
Udgivet: New York, IFI/Plenum, 1971-72.
Serier:Handbook of electronic materials ; v. 3, etc.
Fag:
Microelectronics--Materials. > Silicon nitride
LEADER 01028cam a2200205 4500
005 20200810152641.0
008 710513m19711972nyua b 000 0 eng
082 0 0 |a 621.381/7  |b MIL 
100 1 |a Milek, John T.  |9 4594 
245 1 0 |a Silicon nitride for microelectronic applications,  |c [by] John T. Milek.  |b 6v.; v3. & v6. silicon nitiride for microelectronic applications, pt. 1. Preparation and properties., pt. 2. Applications and devices. 
300 |a 6 v.  |b illus.  |c 28 cm. 
490 1 |a Handbook of electronic materials, v. 3, 6 
653 |a Microelectronics--Materials.  |a Silicon nitride 
942 |c BK  |6 _ 
260 |a New York,  |b IFI/Plenum,  |c 1971-72. 
020 |a 0306671034 
830 0 |a Handbook of electronic materials ;  |v v. 3, etc.  |9 4593 
999 |c 212578  |d 212578 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 v 6  |4 0  |6 6213817_MIL6  |7 0  |9 270979  |a PHY  |b PHY  |d 2010-02-20  |o 621.381/7 MIL.6  |p PHY004094  |r 2010-02-20  |w 2010-02-20  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |3 v 3  |4 0  |6 6213817_MIL3  |7 0  |9 270980  |a PHY  |b PHY  |d 2010-02-20  |o 621.381/7 MIL.3  |p PHY004092  |r 2010-02-20  |w 2010-02-20  |y BK 

Lignende værker