Đang tải...
Silicon nitride for microelectronic applications, 6v.; v3. & v6. silicon nitiride for microelectronic applications, pt. 1. Preparation and properties., pt. 2. Applications and devices.
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Printed Book |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
New York,
IFI/Plenum,
1971-72.
|
| Loạt: | Handbook of electronic materials ;
v. 3, etc. |
| Những chủ đề: |
| Mô tả vật lý: | 6 v. illus. 28 cm. |
|---|---|
| số ISBN: | 0306671034 |