טוען...

Silicon nitride for microelectronic applications, 6v.; v3. & v6. silicon nitiride for microelectronic applications, pt. 1. Preparation and properties., pt. 2. Applications and devices.

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Milek, John T.
פורמט: Printed Book
שפה:English
יצא לאור: New York, IFI/Plenum, 1971-72.
סדרה:Handbook of electronic materials ; v. 3, etc.
נושאים:
תיאור
תיאור פיזי:6 v. illus. 28 cm.
ISBN:0306671034