Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Xehetasun bibliografikoak
Beste egile batzuk: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: Boston : Academic Press, c1989.
Gaiak:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.

PHY

Aleari buruzko argibideak PHY
Sailkapena: 621.36/6 EHR
Alea Egoera zuzenean ez dago erabilgarri

Antzeko izenburuak