Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Podrobná bibliografie
Další autoři: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: Boston : Academic Press, c1989.
Témata:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Popis
Fyzický popis:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0122334302

Podobné jednotky