Laser microfabrication : thin film processes and lithography /

Chi tiết về thư mục
Tác giả khác: Ehrlich, Daniel J., ed, Tsao, Jeffrey Y., ed
Định dạng: Printed Book
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: Boston : Academic Press, c1989.
Những chủ đề:
Lasers--Industrial applications. > Thin film devices--Design and construction. > Microlithography. > Microlithography.
Miêu tả
Mô tả vật lý:xii, 587 p. : ill. ; 24 cm.
số ISBN:0122334302

Những quyển sách tương tự