Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. /

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo: United States. Air Force. Office of Scientific Research
Otros Autores: Osgood, R. M., ed, Brueck, S. R. J., ed, Schlossberg, H. R., ed
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: New York : North-Holland, c1983.
Colección:Material research society symposia proceedings; v. 17
Materias:
Lasers--Industrial applications--Congresses. > Semiconductors--Congresses.
Descripción
Notas:"Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso.
Descripción Física:xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN:0444007822

Ejemplares similares