Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Detaylı Bibliyografya
Yazar: Sivaraman, S.
Materyal Türü: Printed Book
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: New York Van Nostrand reinheld 1995
Konular:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Diğer Bilgiler
Fiziksel Özellikler:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

Benzer Materyaller