Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Sivaraman, S.
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: New York Van Nostrand reinheld 1995
Assuntos:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Descrição
Descrição Física:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

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