Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Sivaraman, S.
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: New York Van Nostrand reinheld 1995
Soggetti:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Descrizione
Descrizione fisica:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

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