Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Sivaraman, S.
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado: New York Van Nostrand reinheld 1995
Subjects:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Descripción
Descrición Física:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

Títulos similares