Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Détails bibliographiques
Auteur principal: Sivaraman, S.
Format: Printed Book
Langue:English
Publié: New York Van Nostrand reinheld 1995
Sujets:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Description
Description matérielle:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

Documents similaires