Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Sivaraman, S.
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: New York Van Nostrand reinheld 1995
Aiheet:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Kuvaus
Ulkoasu:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

Samankaltaisia teoksia