Lanean...
Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Formatua: | Printed Book |
| Hizkuntza: | English |
| Argitaratua: |
New York
Van Nostrand reinheld
1995
|
| Gaiak: |
| Deskribapen fisikoa: | xii, 292p. |
|---|---|
| ISBN: | 0-442-01079-6 |