Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Sivaraman, S.
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: New York Van Nostrand reinheld 1995
Materias:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Descripción
Descripción Física:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

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