Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Sivaraman, S.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: New York Van Nostrand reinheld 1995
Schlagworte:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Beschreibung
Beschreibung:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

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