Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Sivaraman, S.
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: New York Van Nostrand reinheld 1995
Témata:
Microelectronics industry > Chemical vapour deposition > Micro electronics-materials
Popis
Fyzický popis:xii, 292p.
ISBN:0-442-01079-6

Podobné jednotky