Sivaraman, S. (1995). Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials. Van Nostrand reinheld.
Chicago-стиль цитированияSivaraman, S. Chemical Vaper Deposition, Thermal & Plasma Deposition of Electronic Materials. New York: Van Nostrand reinheld, 1995.
MLA-цитированиеSivaraman, S. Chemical Vaper Deposition, Thermal & Plasma Deposition of Electronic Materials. Van Nostrand reinheld, 1995.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.