Sivaraman, S. (1995). Chemical vaper deposition, Thermal & plasma deposition of electronic materials. Van Nostrand reinheld.
Stile di citazione ChicagoSivaraman, S. Chemical Vaper Deposition, Thermal & Plasma Deposition of Electronic Materials. New York: Van Nostrand reinheld, 1995.
Citazione MLASivaraman, S. Chemical Vaper Deposition, Thermal & Plasma Deposition of Electronic Materials. Van Nostrand reinheld, 1995.
Attenzione: Queste citazioni potrebbero non essere precise al 100%.